MEMS压电泵是利用压电陶瓷的逆压电效应，使压电振子产生形变，进而引起泵腔内容积变化，实现流体输送。体积极小、集成度高、功耗低、比流量高、比背压高的特点，在微流控、高端医疗、半导体热管理等领域具有独特的优势，特别适合微系统集成应用。